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万级无尘室隔间分为三大部分,更衣室,千级区和百级区,更衣室与千级区, 千级区和百级区均设风淋室(airshower), 无尘室与室外设有物品出入通道传递箱(passbox).当人员进入无尘室时,首先要经过风淋室,对人体所带的灰尘吹淋,减少人员带入无尘室的灰尘,传递箱则是对物品灰尘进行吹淋,达到落尘的效果。
1.尘粒最大允许数(每立方米);
2.大或等于0.5微米的粒子数不得超过350000个,大或等于5微米的粒子数不得超过2000个;
3.微生物最大允许数;
4.浮游菌数不得超过100个每立方米;
5.沉隆菌数不得超过3个每培养皿。
压差:相同洁净度等级的洁净室压差保持一致,对于不同洁净等级的相邻洁净室之间压差要≥5Pa,洁净室与非洁净室之间要≥10Pa。
万级洁净室对温度、湿度无特殊要求时,以穿着洁净工作服不产生舒服感为宜,温度一般控制在冬季20~22℃;夏季 24~26℃;波动±2℃。冬季洁净室湿度控制在30-50%,夏季洁净室湿度控制在50-70%。
配电:洁净室(区)的主要生产用房一般照度值宜≥300Lx;辅助工作室、人员净化和物料净化用室、气闸室、走廊等的照度值宜为200~300Lx。
噪声控制
一、动态测试时,万级洁净室内的噪声级不应超过70分贝A。
二、静态测试时,万级乱流洁净室的噪声级不宜大于60分贝A。
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